Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生长/小批晕生产用垂直炉管CLV200

  PCB抄板是反向技术研发一个重要的应用领域。利用PCB抄板对产品进行拆解，从产品的pcb文件、BOM清单、原理图等设计要素入手进行研究，从而达到对引进技术进行消化、吸收和再创新的目的。迄今为止，PCB抄板已经形成一个较为成熟的行业，市场布局也从先前的克隆与复制逐渐向技术改造更新和高端化方向发展。

产品介绍：
entrotherm Activator 150 高温炉生产线专为硅-碳化合物（SiC）或镓-氮化合物（GaN） 设备的后植入烧结而设计开发。Activator 150 可用于多种类型炉体， 如研发炉和批量生产炉， 且处理灵活性高。centrotherm 的无金属加热装置的独特设计允许处理温度高达 1850 °C 同时缩短了工艺循环时间。由于占据空间小、购置成本低，所以 Activator 150 可实现生产具有成本效益。

CLV200 小批晕生产用垂直炉管

I 适用于砫衬底的半导体集成电路的生产

centrotherm C LV 200 是一个独立的小批量晶圆 生产设备，能实现各项热处理工艺，适用于少量生产及 研发。

cent rot herm 工艺反应 腔体及加热系统有着独特的设计， 升温至 11 00 摄氏度。由于一炉尺寸较小（一批至多 50 片晶圆）， CLV 200 炉管能提供 非常灵活的常压及低压工艺，降低顾客研发费用。

cent rot herm 的设计在高效， 低耗上非常出色， 同时也具备了生产各种半导体器件的工艺灵活性。

售 批量生产 100 mm 至200 mm 晶圆售 一批可处理 50 片晶圆

特点：

高活化率

表面粗糙程度小

温度达 1850°C

批量规模高达 50硅片（150mm）

加热率达 150 K/min

通过SiH4可实现硅“过压

汇天科技经过数十年的厚积薄发，已成为PCB抄板行业的先驱与领导品牌。在多年技术研究经验及成果积累的基础上，向国内相关科研机构及高等院校提供新技术产品解析与逆向设计，致力于国外技术壁垒的突破和国内技术研究进步与民族产业振兴。公司长期提供单片机解密（MCU解密）、专用IC解密、芯片解密、PLD芯片解密、CPLD芯片解密、FPGA解密、DSP芯片解密、ARM芯片解密，软件解密等服务。